微纳制造公共技术服务平台是济南市具备完整微纳芯片加工、封装和测试分析能力的研发和中试创新平台，提供单项或成套微纳加工工艺的设计、联合/委托开发，产品中试验证和批量量产，以及科技成果转化等全方位资源赋能服务。平台于2023年4月正式通线运营，总建设面积5500㎡，洁净间面积约1800㎡，拥有94台/套仪器设备和1套工艺设计仿真软件，建设光刻区、刻蚀区和测试区等9大功能区，为高校、科研机构与企业提供单项或成套工艺的设计、联合/委托开发、中试验证、批量量产和成果转化等全方位资源赋能服务，全力建设北方地区半导体产业培育创新基地，为山东乃至全国MEMS产业提供关键制造能力支撑。

平台集聚了一批来自国内外高校、科研院所及知名企业的研发人员，长期从事微纳制造技术研究管理工作，具备丰富的第三代半导体和高性能传感器的科研创新经验，充足的科技验证和工艺生产能力。

目前团队中硕士研究生及以上人员占比73%，专业技术人员占比60%，中级职称及以上人员占比40%。拥有深厚的科研积淀、成熟的科技验证和完善的工艺生产体系。

当前平台已开发MEMS完整产品工艺包6个、短流程工艺包20个、关键工艺包百余个，申请发明专利10余项，授权发明专利2项。通过ISO9001/14001/45001体系认证，对工艺质量和服务品质高标准严要求。

区位优势

当前国内MEMS产业主要集中在长三角（苏州、上海）和珠三角地区，北方市场缺乏具备完整代工能力的公共服务平台。山东产业技术研究院微纳制造公共技术服务平台设立于山东省济南市高新区，作为省会科创核心区，交通网络完备，四通八达，可辐射北方地区，吸引京津冀、中原经济带等区域的初创企业及科研团队，吸引全国范围内的企业、科研机构及人才资源，形成跨区域同效应。

平台优势

平台依托山东产业技术研究院，享受省级政策扶持，包括资金投入、税收优惠、人才引进等。济南市及高新区可为项目提供专项支持，如资质认定、研发补贴等，为平台运营和入驻企业创造良好的政策环境。省内及周边省市高校资源丰富，为MEMS产业提供技术研发和人才支撑。同时，历城区已集聚半导体材料、智能制造等领域的企业，形成了一定的产业基础，有助于上下游产业链的协同发展。创新团队及企业可以结合北方成本优势及本地汽车、医疗等应用场景需求，打造北方MEMS产业创新策源地，推动区域产业链升级，成为全国产业“北进”战略的关键支点。

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