微纳制造公共技术服务平台是济南市具备完整微纳芯片加工、封装和测试分析能力的研发和中试创新平台，提供单项或成套微纳加工工艺的设计、联合/委托开发，产品中试验证和批量量产，以及科技成果转化等全方位资源赋能服务。平台于2023年4月正式通线运营，总建设面积5500 m2，洁净间面积约1800 m2，拥有94台/套仪器设备和1套工艺设计仿真软件，建设光刻区、刻蚀区和测试区等9大功能区，为高校、科研机构与企业提供单项或成套工艺的设计、联合/委托开发、中试验证、批量量产和成果转化等全方位资源赋能服务，全力建设北方地区半导体产业培育创新基地，为山东乃至全国MEMS产业提供关键制造能力支撑。