第七届全球半导体产业（重庆）博览会将于2025年5月8日-10日在重庆国际博览中心举办，此次博览会以“新时代·创造芯未来”为主题，展示面积达40000㎡，参展企业800家，吸引35000名专业观众到场参观交流。

山东产业技术研究院微纳制造公共技术服务平台将重装亮相，敬请前往A39展位莅临指导！

山东产研院微纳制造公共技术服务平台介绍

微纳制造公共技术服务平台是山东产研院部署的高能级创新平台之一，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。自2023年正式投产以来，一直积极开展各项工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，加速产业资源整合转化，全力建设成为一个可以提供高效率代工研发服务、4&6英寸MEMS产品稳定批产服务、产学研联合集智创新服务的全周期产业培育创新基地。

平台以客户需求为导向，完善体制机制，优化工艺流程，提高生产质量，对工艺生产质量和服务品质高标准严要求。依托山东产研院省级平台，积极与客户开展政、产、学、研、金和代工等沟通协作，在优质的微纳芯片设计及加工服务基础上，内引外联、促进产业转化，共同推进区域产业创新发展。

产品介绍

01、晶圆级加工服务

平台面向高校、研究院、企业提供单项工艺或成套工艺的全方位资源与代工服务，代工业务涵盖设计、加工、测试、封装、集成等，工艺能力包括光刻、腐蚀、注入、扩散、沉积等MEMS制造全过程工艺能力，可生产压力传感器、微热板气体传感器、微镜、生物检测芯片等多种MEMS产品。

02、工艺设计开发服务

平台自主开发及C-SOI工艺、高品质硅硅键合工艺、高精度双面深刻蚀工艺包，可快速响应客户代工需求，优化客户工艺设计，有效降低成本提高产能。

03、产业孵化与成果培育

积极与客户开展政、产、学、研、金和代工等沟通协作，共同推进区域产业创新发展。

山东产业技术研究院

山东产业技术研究院（简称山东产研院）是山东省人民政府举办的新型研发机构，于2019年7月30日正式揭牌，围绕山东省“十强产业”和济南市四大支柱产业，重点在新一代信息技术、智能制造与高端装备、先进材料、绿色与健康4大领域开展产业创新布局，开展产业重大技术创新、拨投结合、市场化投资（股权直投、基金投资）等项目。以服务山东产业发展为根本，聚焦科技创新与产业发展重大需求，深化产研院体制机制创新，不断健全完善以市场为导向、产学研深度融合的技术创新与成果转化体系，打造引领全省创新驱动发展的核心引擎和制度创新的示范样板，为加快新旧动能转换、绿色低碳高质量发展提供科技创新支撑。

稿件来源：微纳制造公共技术服务平台